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          箱式真空等离子体处理系统GX-V1502

          箱式真空等离子体处理系统GX-V1502

          销售咨询热线:181 3605 7999

          产品展示

          项目

          规格

          主机尺寸

          1955W x 1580D x 1750H mm

          真空腔体尺寸

          1020W x 1330D x 913H mm

          电极板配置

          16 片垂直电极板,15 个处理位置

          有效区域

          1100W x 615H mm

          等离子体电源

          10kw-20kw

          电极温度

          35~95℃,模温恒定控制,待机状态也能保持温度不变,省去预热时间

          工艺气体控制

          标配:
          O2、N2:0~5000sccm;
          CF4:0~400sccm;
          Ar:0~2000sccm;
          可?。?br/>额外一路工艺气体,流量范围可定制

          真空检测

          0.01Torr~760Torr

          工作气压

          0.15~0.3Torr,控制精度 0.2mTorr

          人机界面触摸屏

          中文界面,模拟图文显示;操作员、工程师权限分级;

          真空泵组

          选配

          型号指示灯

          三色指示灯,带报警蜂鸣器

          系统重量

          ~3.5 吨,包含主机、泵组、模温机

          空间需求

          4000 x 4000 x 2200(H)mm

          电源需求

          AC380V 三相五线,50Hz/100A,30kW

          压缩空气需求

          洁净、干燥,0.5~0.8MPa

          工艺气体需求

          0.3~0.5MPa,纯度>99.9%

          厂务冰水需求

          20℃,20L/min (模温机采用水冷式需求冰水,风冷式无该项)

          抽风系统

          >100 立方/min (模温机采用风冷式需求热排风,水冷式无该项)

          废气管道

          >3 立方/min,中央废气系统,DN50

          环境温湿度

          20~30℃,30%~70%RH


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